一个亚微米级的 3D 运动控制平台。
由于其并行运动结构和微型球头,它实现了良好的机械刚度和大的运动范围。电机是现成的步进电机,由 30 kHz 的闭环控制器和非常精确的 PWM 信号驱动。"磁传动"方法将低成本磁转码器的分辨率提高了 30 倍,允许分辨率降至 50nm (请注意分辨率和精度之间的区别。绝对精度明显较差。
该设备可以通过 USB 串行接口的简单 G-Code 指令进行控制,因此可轻松集成到其他项目中。固件实现了一个完整的运动规划栈,具有超前查看功能,可实现平滑、精确的路径跟踪能力。
An Open Source Motorized XYZ Micro-Manipulator - Affordable sub µm Motion Control
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